img Leseprobe Leseprobe

Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

Seongbo Shim, Youngsoo Shin

PDF
ca. 106,99
Amazon iTunes Thalia.de Weltbild.de Hugendubel Bücher.de ebook.de kobo Osiander Google Books Barnes&Noble bol.com Legimi
* Affiliatelinks/Werbelinks
Hinweis: Affiliatelinks/Werbelinks
Links auf reinlesen.de sind sogenannte Affiliate-Links. Wenn du auf so einen Affiliate-Link klickst und über diesen Link einkaufst, bekommt reinlesen.de von dem betreffenden Online-Shop oder Anbieter eine Provision. Für dich verändert sich der Preis nicht.

Springer International Publishing img Link Publisher

Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik / Sonstiges

Beschreibung

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.

Weitere Titel von diesem Autor
Weitere Titel zum gleichen Preis

Kundenbewertungen

Schlagwörter

DSA-Aware OPC, Inverse DSA, DSA-Friendly VLSI Design, DSA Verification, Computational Litography, DSA-Aware Mask Optimization, Multi-Patterning with DSA, DSA.Aware Placement, DSA-Aware Routing, Nanolithography, Physical Design for DSA, VLSI CAD for DSA