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ULSI FRONT-END TECHNOLOGY
Covering from the First Semiconductor Paper to CMOS FINFET Technology
Wai Shing Lau
EPUB
ca. 77,99 €
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World Scientific Publishing Company 
Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik / Technik
Beschreibung
The main focus of this book is ULSI front-end technology. It covers from the early history of semiconductor science & technology from 1874 to state-of-the-art FINFET technology in 2016. Some ULSI back-end technology is also covered, for example, the science and technology of MIM capacitors for analog CMOS has been included in this book.
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