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Microsystem Technology
Jürgen Mohr, Wolfgang Menz, Oliver Paul, et al.
PDF
219,99 €
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Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik / Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik
Beschreibung
This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.
Rezensionen
Optik
"...written by excellent experts in the field and gives a very deep and wide introduction to this important technology. The Text includes may practical examples already realized, and many details for the fabrication processes are explained. I can recommend this book without any restrictions tp engineers as well as physicists, and other scientists in this field."
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Schlagwörter
Nanotechnology, MEMS, Elektronische Materialien, Electronic Materials, Physik, Physics, Electrical & Electronics Engineering, Nanotechnologie, Elektrotechnik u. Elektronik, Mikrosystemtechnik, Technik / Sonstiges